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    超純水設備在電子半導體行業中的應用

    出處:未知? 作者:鄭州水處理工程師? 發布:2020-09-22 00:39? 閱讀:

      電子半導體行業生產過程中對水的應用要求較高,因此大多企業都會選擇性價比較高的超純水設備。電子半導體行業超純水設備通常由多介質過濾器,活性炭過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等構成主要設備系統。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人值守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統一的方法,使該設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。

      我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業等級。高純水的國家標準為:GB1146.1-89至GB1146.11-89 ,高純水的電子級水分為五個級別:Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級,該標準是參照ASTM電子級標準而制定的。電阻分別對應為:18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質。

      超純水的水質標準中所規定的各項指標的主要依據有:1、微電子工藝對水質的要求;2、制水工藝的水平; 3、檢測技術的現狀。

      超純水在電子元器件生產中的重要作用日益突出,超純水水質已經成為影響電子元器件產品質量、生產成品率以及生產成本的重要因素之一,水質要求也是越來越高。在電子元器件的生產過程當中,超純水主要用作清洗用水以及用來配制各種溶液、漿料,不同的電子元器件在生產過程中純水的用途及對水質的要求也略有不同。因此電子行業的生產用水離不開超純水設備,這也是電子行業為什么用超純水設備的原因。

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